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株式会社エリオニクス

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代表取締役社長本目精吾

代表取締役社長
本目 精吾

電子ビーム描画装置で他の追随を許さないトップ企業

  1. 東京都八王子市元横山町3−7−6
  2. 1975年(昭和50年)設立
  3. Tel 042-626-0611

光デバイスなど次世代デバイスの研究開発に欠かせない超高精度電子ビーム描画装置では国内シェアの80%を占める。海外売上も順調に伸びている。ト

ナノレベルの微細加工技術で自社ブランドを確立

シリコン基盤などに電子ビームを照射して半導体より一桁小さい図形を描く超微細加工装置が「電子線描画装置」である。1センチ角チップに100万本以上の線を均等に描くことができるという。同社の最上位種は、最小線幅が5ナノメートルの描画が可能であり、「エリオニクス」ブランドを確立、大学や研究機関などが顧客で、国内シェア80%を有する。

八王子市を中心に積極的な産学官連携を展開

同社は、「科学技術の進歩に貢献できる製品を作りたい」との思いから、大手電子顕微鏡メーカーから独立した電子光学系の技術者が集まって創業した会社である。八王子市という理工系大学や研究機関、半導体をはじめとした大手メーカーの開発部門などが集積する首都圏西部地域のポテンシャルを十分生かして、産学官共同研究活動を進めた成果が結実した。
新型電子描画装置の開発】【 世界で最も細い線が描ける電子線描画装置】 【電子線描画装置】
限られたスペースにどれだけ微細なパターンを高精度
かつ高密度に描画できるかが重要なポイント。微細パ
ターン加工が実現できれば一つのデバイスに詰め込
む記憶容量が飛躍的に増え、処理速度も向上するからだ。